真空镀膜加工是相对于上述湿法镀膜而发展起来的一种新型镀膜技术，通常真空镀膜加工称为干法镀膜技术。真空镀膜技能的存在保障了集成电路的高度集成、功能、可靠性、生产效率等。 利用世界上先进的磁控溅射离子镀膜和多弧离子镀膜工艺设备，并以国际专家为基础进行工艺创新。
在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，样品蒸发后的储存、制备和测试是在手套箱中的高纯度惰性气体气氛中进行的。真空镀膜的应用，简单理解就是在真空环境下，采用蒸发、溅射及后续冷凝的方法，在金属、玻璃、陶瓷、半导体及塑料件等物体上涂覆金属膜或涂层。
