光学镀膜加工产品的常见问题,部分是镀膜工序的本身造成的,部分是前工程遗留的问题,镀膜终的品质是整个光学零件加工的(特别是抛光、清洗)的综合反映,对于出现镀膜不良时必须综合考虑,才能真正找到不良产生的原因,对策改善才能取得成效。
膜脏(也称白压克)
顾名思义,,膜层有脏。般的膜脏遭受在膜内或膜外。脏会涉及到:粉尘点、白雾、油斑、指印印、口水点等。(粉尘点和白雾单列)
01
灰点脏
原因:光学镜片膜层的表面或内层有长些点子(不算膜料点)些许能否擦除,有的未能擦除。而且有 条状脱膜生成。
产生问题:
1、电磁感应室脏,在起抽电磁感应时的室内空气电磁感应将电磁感应室底板、护板的脏灰携到眼镜镜片上,型成灰点层。(膜内,不擦除,会起斑状脱膜)
2、镜圈或碟片脏,有浮点浮灰,在亚铁离子束用途下衔接至非球面镜上成型灰点层。(膜内,不擦除,会产生斑点状脱膜)
3、眼镜镜片上伞时只有脏污点,上伞时未检查报告筛选。(膜内,没办法擦除,可能会有线状脱膜)
4、镀制完整后的环镜污染问题是膜外灰点的主要的原因,尤其是是当光学镜片热的同时,更简易吸收尘埃,同时还根本无法擦除。(膜外)
5、真空体室冲气垫口周围环境脏、开始了冲气垫过大、冲气垫滤过器脏,冲气垫时光学光学镜片的温度过高也是构成光学光学镜片膜外积尘点不良现象的病因。(膜外)
6、选择题员不可避免有的积尘的污染(膜內膜外)
7、运行区域环境中尘埃量过大
缓解工作思路:遏制脏污源
提高方法:
1、运行场景创新净化工厂,苛刻按净化工厂标准执行。
2、尽概率最好坏境环卫。否则应用洁净间运行台。
3、真空箱室时间是整洁卫生,增加整洁。
02
膜外白雾
现像:渡膜做完后,界面很多些浅浅的的白雾,用异丙醇或混杂液刷洗,会出现越擦越严重性的现像。用腐蚀铈粉刷洗,可除掉或消减,(叫做:可刷洗压克)
浅析:膜外白雾的形成原因这类麻烦,机会的形成原因有:
①、膜组成部分类型话题:表层膜的柱状体组成部分类型松软,表层膜太毛糙;
②、蒸发掉角过大,膜机构粗燥。
③、气气温异:眼镜片出罩时内部因素和气气温异过大
④、潮气;玻璃镜片出罩后布置情况的潮气
⑤、正空厂区室内Polycold解封时蒸气太重
⑥、蒸镀中充氧不充分,膜设计不均匀分布
⑦、膜与膜相互间的能力
优化一个构想:膜外白雾有特点越来越多,但分别有些有特点,以便立竿见影下药。主耍一个构想,首先是把膜做的低密度光滑平整些不能被易粘附,第二是优化自然环境减低粘附的另一半。
有效改善措施:
1、减少膜系,表面能层加二钝化硅,使膜表面能光滑细腻,很难气体吸附。减少眼镜出罩时的区域环境(变干、清洗)
2、拉低出罩时的眼镜镜片温暖(提高在真空系统室的空气冷却时刻)减掉的温差、拉低剪切力。
3、促进充氧(减少),促进膜设备构造。
4、恰当有效降低挥发时延,可以改善柱型的结构
5、阴离子铺助渡膜,优化膜构成
6、打上去polycold快速解冻时的小充气垫阀(其的功能是及时性秒杀水蒸气)
7、从汽化源和卡具上想法改进汽化角。
8、促进基片界面干硬度。
9、注重polycold冻解时的涡流度。
03
膜内白雾
白雾造成在膜内,没法用刷洗工艺消除。
很有可能的原由:
①、基片脏,依附前过程中的留物
②、眼镜镜片单单从表面防腐蚀被污染
③、膜料与膜料中、膜料与基片中的不符合。
④、氧化反应物充氧不足够。
⑤、那层防氧化锆膜料,有机会对某个基片存在白晕想象
⑥、基片进罩前(干净后)发霉气环境破坏
⑦、洗除或涂抹不当,洗除印子、涂抹印子
⑧、真空箱室脏、水汽较重
⑨、区域绝对湿度大
增强构思:基片本来的事情已经是主耍的,玻璃镀晶是做到挽救,玻璃镀晶本来的已经是膜料匹配好事情。
改进办法:
1、改良膜系,层不一样防氧化锆。
2、否则增多抽蒸空室关门时段,罩与罩范围内在瞬时段内进行抽蒸空室的卫生、镀一层薄薄的膜安排本职工作。
3、真空体箱环境室在拆卸护板、洁面后,能空罩抽真空体箱环境烘烤一下吧,拆卸的护板等真空体箱环境室器件须得干热、净。
4、解决生态
5、合理保证进罩前在伞片上的非球面镜,不受破坏。
6、增强清洗好之后、涂抹成效。
7、减少膜相匹配(考虑到层用Al2O3)
8、缓解膜充氧和挥发浓度(降)
9、缩短前过程中的步骤。前过程中对已生产光面的保护性切实加强。
10、拋光剂生产达成的光面,务必当即便于净,没办法有拋光剂粉或某些杂物依附干结。