镀晶村料的热可靠性行为相应：很双层膜的热固定义分析追求：在极红外光谱黑与白用大管径球面光菲涅尔透镜上，镀制的时间间隔性Mo/Si很双层膜膜厚肯定沿其的外面呈横排等度数据分布以确保较高的EUV光射线率。时候，这样极红外光谱黑与白用光菲涅尔透镜紧邻黑与白，因为的辐照力度大，很双层膜长久的处在高烧根据在使用环镜下，透气膜实物温湿度增加会有钼硅氧化物，很双层膜光学材料性能问题上升。这样，镀制在极红外光谱黑与白用大管径球面光菲涅尔透镜的外面上的Mo/Si很双层膜在热固定义分析问题也遭受较高的追求提供了热比较稳相关性的技术步骤：在提供了Mo/Si两层膜全反射强度镜热比较稳相关性的科研中，一般的技术步骤为原料引流法和修改隔断层法。这类，采取磁控溅射法制建设备了Mo/C/Si/C两层膜，在500℃、100h情况下降温后仍要保持58.5%的EUV全反射强度率，可见光波长仅0.16nm的漂移，表现出非常好的的热比较稳相关性

C粘附遮蔽层的会影响：利用加入C遮蔽层，有效率的提升了Mo/Si四层膜的热稳定可靠性，所备制的Mo/C/Si/C四层膜在300℃下热处理回火后反射强度率仅下调1.8%热动态平衡性公测效果：在300℃、2小时英文环境下去应力退火后，Mo/Si小高层膜的寿命料厚减低约0.30nm，而Mo/C/Si/C小高层膜的寿命料厚发展仅为0.03nm，表达C阻断层行可行减缓Mo层和Si层对话框处的充分向外扩散，促进了小高层膜热动态平衡性热平稳性对光学薄膜功效的应响：Mo/Si很叠层膜在300℃、2个小时经济条件下热处理处理后，EUV折射率由64.4%减低~55.4%，而Mo/C/Si/C很叠层膜热处理处理后折射率仅减低1.8%，可见光波长仅摆动0.02nm，热处理处理内外的测试软件曲线拟合大致重叠，提示出Mo/C/Si/C很叠层膜具的热平稳性